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第371章 光刻胶一代样品!杰出的洁净度数据!

    第371章 光刻胶一代样品!杰出的洁净度数据! (第2/3页)

其他钻核心专家组的人,也都是来到实验室观看。

    紧接着。

    在众人的注视下,林决上前将它用工具拿起,放到一个容器皿中封上。

    林决仔细看了看。

    发现这个初代光刻胶材料质地均匀,没有一丝絮状沉淀。

    他轻轻晃动容器皿,然后便见的光刻胶开始跟着晃动。

    “袁教授,测试一下看看呢......”

    说着,林决将东西递给袁泽成。

    “行。”

    袁泽成点了点头。

    因为知道今天第一款样机出来,所以项目组早就让人备好了测试流程。

    “小张,上流式图像颗粒分析仪!”

    “收到!”

    测试小组众人动了起来,将颗粒分析仪校准到初始数值。

    这个阶段,主要是测试光刻胶材料的洁净度,看有多少0.1微米以上的固体颗粒。

    国际量产EUV光刻胶指标目前是,每10毫升中,标准颗粒小于等于1个。

    而在这之前。

    谷方绪带领团队研发的光刻胶。

    能够达到极限的数据是,每10ml中有8个大于0.1微米颗粒......

    下一刻。

    众人便见操作人员又取了新的样品,将其装入密封舱,然后又用微量精密柱塞泵匀速推送胶液,让液体以稳定薄层流过透明的检视视窗。

    紧接着,便是高速同步光源频闪。

    通过搭配高倍率显微镜,高速CMOS相机,让每一层薄层,都单独抓拍一张图片。

    这是最重要的一步,结果能够看到发现光刻胶中的分凝胶团和杂质!

    在众人注视下。

    分析仪开始嗡鸣起来。

    虽然众人只能看到相机频闪在不断熄灭点亮,但心却还是提了起来!

    约莫两分钟后。

    仪器预热准备完毕。

    在实验室中心的电脑上。

    关于本次测试的结果,开始逐渐显现!

    一时间,众人都屏住了呼吸!

    紧接着,第一层采集的结果出现!!!

    【取样体积:10ml】

    【统计粒径阈值:≥0.1μm】

    【检测数量:1】

    “轰!!!”

    当看到这个结果后。

    新项目组,以及谷方绪所带领的老材料组众人,都是愣在当场!!!

    卧槽!?

    

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